Elektronu staru iztvaikošanas metode ir sava veida vakuuma iztvaicēšanas pārklājums, kurā tiek izmantoti elektronu stari, lai vakuuma apstākļos tieši uzsildītu iztvaicēšanas materiālu, iztvaicētu iztvaicēšanas materiālu un transportētu to uz substrātu un kondensētu uz pamatnes, veidojot plānu plēvi.Elektronu staru sildīšanas ierīcē uzkarsētā viela tiek ievietota ar ūdeni dzesējamā tīģelī, kas var izvairīties no reakcijas starp iztvaikošanas materiālu un tīģeļa sieniņu un ietekmēt plēves kvalitāti.Ierīcē var ievietot vairākus tīģeļus, lai panāktu dažādu vielu vienlaicīgu vai atsevišķu iztvaikošanu un nogulsnēšanos.Ar elektronu staru iztvaikošanu var iztvaikot jebkuru materiālu.
Elektronu staru iztvaikošana var iztvaikot materiālus ar augstu kušanas temperatūru.Salīdzinot ar vispārējo pretestības sildīšanas iztvaikošanu, tai ir augstāka termiskā efektivitāte, lielāks staru strāvas blīvums un ātrāks iztvaikošanas ātrums.Plēve un plēve no dažādiem optiskiem materiāliem, piemēram, vadoša stikla.
Elektronu staru iztvaikošanas īpašība ir tāda, ka tā nepārklāj vai reti pārklāj mērķa trīsdimensiju struktūras abas puses un parasti tikai nogulsnējas uz mērķa virsmas.Šī ir atšķirība starp elektronu staru iztvaikošanu un izsmidzināšanu.
Elektronu staru iztvaikošana parasti tiek izmantota pusvadītāju pētniecības un rūpniecības jomā.Paātrinātā elektronu enerģija tiek izmantota, lai sasniegtu materiāla mērķi, izraisot materiāla mērķa iztvaikošanu un pacelšanos.Galu galā noguldīts uz mērķi.
Izlikšanas laiks: Dec-02-2022